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CVD系統

簡要描述:管式爐搭配質子(浮子)供氣系統真空系統和分子泵機組,形成高真空CVD系統。CVD系統管式爐是一種重要的材料制備設備,廣泛應用于大專院校、科研院所、工礦企業等實驗和小批量生產之中。它主要用于在固態基材上沉積一層薄膜,其組成部分包括高溫真空管式爐、氣路和真空系統。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-08
  • 訪  問  量:920
詳細介紹
品牌HF.weiyuansu價格區間面議
儀器種類管式爐產地類別國產
應用領域化工,地礦,鋼鐵/金屬,航空航天,綜合

CVD系統(高真空)GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)1.包含一款通過CE認證的高溫管式爐,2.包含一款GYS-3Z低成本的流量計控制系統 3.包含一款OYS-300F風冷分子泵機組參數表。

CVD系統(高真空)GYS-1500C-II+GYS-3Z+OYS-300F+(真空連接配件)(CVD系統高真空)

一款通過CE認證的高溫管式爐,其爐管采用的高純氧化鋁剛玉管,加熱元件為硅碳棒。隨身帶有兩個真空密封法蘭(法蘭上已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥),控溫方式采用50段程序設置,最高溫度可達1500℃。

產品型號

管 式爐  GYS-1500C-II(φ60、φ80、φ100)

主要產品參數

電源:380V 50/60HZ

額定功率:11 KW

最高工作溫度:1500℃(<0.5h)

連續工作溫度:1400 ℃以下≤10℃/min; 1400 ℃以上≤5℃/min;

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區長度:600mm;  雙溫區長度300mm+300mm

爐體結構

爐體特點:采用雙層殼體結構并帶有風冷系統;爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能減少能量損失

加熱元件

硅碳棒

爐管尺寸

高純石英管φ60、φ80、φ100(備注:爐子在使用前,爐管兩端先放入管堵)

外形尺寸

1450mm(L)*500mm(W)*820mm(H)

重量

150KG

溫控系統

控溫方式:包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調節,智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度:±1℃

真空密封

標配:一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數字式真空顯示計

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請咨詢我公司銷售經理

真空度

采用雙旋片式機械真空泵真空度可以達到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國產或進口高真空機組

可選

本公司還可以提供防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測量氣體種類不同而需要轉換系數

認證標準及核心零部件

CE、UL等認證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等

售后

質保期一年,終身維護;24小時在線服務

特別聲明:耗材部分如加熱元件,石英管,坩堝等不包含在內

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內

注意事項

爐管內氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

氣體的流量應限制在<200   SCCM(或200ml/ min)

質子供氣系統GYS-3Z參數表

GYS-3Z是一款低成本的流量計控制系統,其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時,可實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。

產品型號

GYS-3Z

產品參數

電源:220V 50/60HZ

額定功率:23 W

流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM;

有一機械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門

內部連接管道為?6.35

產品尺寸

外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

重量

約30KG

產品特點

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管

氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸

一、OYS-300F風冷分子泵機組參數表產品簡介

此機組為風冷機組無需冷卻,本機組極限真空5*10-5Pa ,充分考慮到實驗室及一些研究院所的使用條件,大大方便了客戶的使用范圍,本產品為一鍵啟動模式,大大降低了對使用者的專業要求。JTFB-300F分子泵為抗沖擊型。

二、技術資料



名稱

詳情

主要參數

?  電源:220V 50/60HZ

?  額定功率:2KW

?  工作原理:前級泵次級泵交互泵組

?  最高真空度:5*10-5Pa

?  啟動方式:一鍵啟動


真空分子泵

?  型號:JTFB-300F;

?  抽速:300L/S;

?  其他:刀口法蘭、風扇、線纜等

前級泵(機械泵)

?  型號:TRP-12;

?  抽速:12立方/小時雙級旋片

分子泵控制器

?  一鍵式啟動;

?  控制器集成電源;

?  帶頻率顯示控制器;

降溫模塊設備

風扇風冷模組

線纜

2米長驅動線纜及電源線纜

復合真空計

?  型號:ZDF5227AX

?  測量范圍:1.0×105~1*10-5Pa

?  其他:含真空計數據線纜等

泵組連接管

不銹鋼波紋管,2根

氣路控制

?  高真空擋板閥

?  型號:GD-J25/KF

泵組殼體

風冷泵組專用機架

售后

?  質保期一年,終身維護,24小時在線服務

?  特別提示:耗材部分如加熱元件、坩堝等不包括在內











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